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产业专利数据

双探针扫描探针显微镜

US14215903 2014-3-17 发明申请

2014-9-18

一种定位原子力显微镜(AFM)的探针的设备和方法，包括使用双探针配置，其中两个探针用单个基座制造，但独立地操作。反馈控制基于参考探针和表面之间的相互作用，给出表面位置的指示，基于两个探针尖端高度的差异修改该控制，以允许感测探针相对于样品定位在小于10nm的范围。