| 环境扫描电子显微镜 |
| WOJP14056658 2014-3-13 发明申请 |
| 2014-9-18 |
| 本发明提供一种环境扫描电子显微镜能够容易地产生一放大的图像的所述样品的表面设置在一个气体。所述环境扫描电子显微镜包括 : 一透镜筒，一真空隔离壁之间设置透镜镜筒和所述一种气体，一个调整机构中的样品用于保持一个所述真空分区壁之间的空间设置在与所述的接触透镜筒或所述透镜筒的一个部分面对所述样品，和所述样品设置一气体中，一个检测器用于检测一个二次电子，一反射电子，或产生的X射线传输通过真空采取分区壁和所述真空中在所述透镜筒，其被同时照射和上平面地排出扫描该样本设置在一气体与一种电子束发射到所述气体从所述透镜筒通过所述真空分区壁，和一个图像生成装置，用于所述的基础上产生一个图像的所述二次电子; 所述反射电子，X-射线信号，或一由一检测器所检测的样品中流动的电流。 |
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