| 使用方法和装置，用于自适应跟踪扫描探针显微镜 |
| WOUS14027809 2014-3-14 发明申请 |
| 2014-9-18 |
| 描述的方法和装置被用于自适应!Y跟踪一个特征(100)的一个使用一个扫描探针显微镜样品(10)。所述自适应技术用于跟踪该特征提供了一种自适应方法扫描-到-扫描，尽管实际的或表观特征中的变化引起的形状，例如，以发展中的/样品的转换状态，和/或实际的或显而易见的改变位置。由于，例如，以该样品的运动和/或所述的压电管漂移致动器。在一个优选实施例中，每个扫描可以处理的线-通过-线，或分部-通过-子部分，和可以被分析的任一个在实时或离线。这种处理技术提高了速度，处理，反应，和显示时间。 |
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