| 光学装置及扫描显微镜 |
| JP2010109385 2010-5-11 发明授权 |
| 2014-9-17 |
| 要解决的问题 : 提供一种光学装置准确地凝结如果照射光的物镜透镜移动到光轴方向方法 : 光学装置1包括 : 波前调制部6调制的照射光的波前; 物镜13，收受照射光L，其波前调制的波前调制部6，在样品A; 物镜移动机构20，它移动物镜13的光学轴方向; 中继光学系统9和10中继的波前调制的波前调制部(6)物镜13; 和光路长度调节部12，调整物镜之间的光路长度的13和中继光学系统10，以补偿在光路长度的变化由于运动的物镜13而造成物镜移动机构20。 版权 : (C)2012，隆起部 |
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