| 一种方法用于调整所述一种光束扫描区域的位置和光束扫描区域和位置调整装置配备与所述多扫描显微镜 |
| JP2013032500 2013-2-21 发明申请 |
| 2014-9-8 |
| 要解决的问题 : 每个所述光束的操作者手动或自动位置可以调整简单地通过调整所述一束扫描区域的位置。溶液 : 与相对于该观察区域，多个分光束的在每个一种的多个不同的位置，它是通过扫描该扫描的面积A1～A4，分别连接一个的所述扫描区域的所述整个所述图像获取的图像扫描显微镜中分离，所述图像的整个所述扫描区域的图像，以便与每个其它一致，分别，所述光束，其被扫描的每个通过该扫描所述的方法，用于调整所述位置的区域，分别，在所述相邻的所述之间的边界扫描至少2部件和具有图案的区域相交的所述目标1是设置在所述焦所述物镜的点，每个光束是通过扫描该目标的扫描区域1分别通过使用一种图像显示，所述显示图像的各个相邻的扫描区域在所述目标1之间的边界，从而所述图案作为以匹配所述的位置，所述扫描所述各自的扫描区域的分别。选择绘制 : 图3 |
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