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扫描电子显微镜
US14060783 2013-10-23 发明申请
2014-9-4
本发明提供了一种能够收集累积在样品上的电荷的扫描电子显微镜。 扫描电子显微镜包括 : 列单元,配置为产生电子束并用电子束扫描样品;腔室单元,与列单元组合,并包括与列单元的端部隔开以容纳样品的样品台;检测单元,配置为检测从样品发射的信号;电荷收集单元,配置在列单元的端部和样品台之间以收集电荷;以及电压供应单元,配置为向电荷收集单元施加最佳或可选地期望的电压。
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