| 样品分析仪和样品分析方法。 |
| JP2007044909 2007-2-26 发明申请 |
| 2008-9-11 |
| 要解决的问题 : 以分析该样品的膜结构具有高精度和提高分析精度。溶液 : 所述样品分析仪1被构成以分析该一膜的结构参数，例如，通过照射该样品12衬底上形成作为所述膜与X射线或中子束来分析该膜和设置所述的结构参数与一个测量装置，用于测量所述的X射线强度或中子反射的光束从所述样品12和一测量装置用于测量所述的X射线强度或所述通过所述样品发射的中子束12。在这种样品分析仪1，由于该X射线或中子反射的光束的反射率从所述样品12是测量和所发送的所述X射线或中子束的透射率通过所述测得的样品12作为测量数据，所述测量数据的数目是增加该结构参数和所述的presicionLED出由剩余根之和。版权 : (C)2008，inpit |
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