| 扫描电子显微镜和检查装置 |
| JP2013029047 2013-2-18 发明申请 |
| 2014-8-28 |
| 要解决的问题 : 扫描电子显微镜和一检查装置，所述的空气中以简化现有的样品使用电子光束可以通过一种扫描电子显微镜观察。溶液 : 一变薄的电子束2和一个镜筒21，筒和所述样品和所述隔膜10之间设置，其被设置在该气氛所述的表面上的所述样品和所述物体图像发生器由覆盖的一部分或整个所述气氛和分离的可变密封件12，可变密封在所述大气空气和真空排气装置被提供有一真空排气，筒通过一个膜片的电子束，通过一个可变的密封空气被抽空和分离由所述排气装置产生一个所述部分的所述样品上的一个对象图像，所述样品或15，平面扫描，同时施加2，当所述二次发射的电子或反射的电子或X-射线，筒的一真空在所述检测器用于检测和捕获，通过X-射线检测器2检测或二次或所述信号的基础上被反射的电子和产生一个图像生成装置，将选择的绘制 : 图1 |
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