扫描电子显微镜
 
WOIL14050175  2014-2-18  发明申请

2014-8-28
 
  一种扫描电子显微镜合适的用于成像一个非真空环境中的样品,所述扫描电子显微镜包括一个电子源位于一外壳内的真空下保持,一种电子可渗透膜设置在所述外壳分离的一个开口所述外壳内的环境,它是真空和一个外部环境下保持所述外壳,它是没有保持真空下,所述的电子渗透膜不被电接地和至少一个非接地电极可操作为一个电子检测器。
 
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