| 一种显微镜物镜精密调焦装置 |
| CN201410172138.X 2014-4-28 发明申请 |
| 2014-8-27 |
| 本发明公开了一种显微镜物镜精密调焦装置，包含显微镜物镜、外壳、上板、法兰、压电振子、导轨、支撑板、钢球和四片压电陶瓷片，压电振子头部呈水平设置的工字型、尾部呈竖直设置的楔形，显微镜物镜通过支撑板固定在外壳里，法兰通过上板固定在外壳上、且轴线与显微镜物镜的轴线重合，压电振子尾部的下端面能够在导轨上水平滑动、上端面通过钢球与支撑板相抵，通过驱动设置在压电振子上的压电陶瓷片，使得压电振子在导轨上滑动，进而带动支撑板移动，最后带动显微镜物镜上下微移。本发明可以将惯性冲击式压电驱动器输出的位移转换为显微镜物镜的位移，实现显微镜物镜微纳米级别的焦距微调。 |
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