| 激光烧蚀装置，激光烧蚀的方法，样品分析仪和样品分析方法。 |
| JP2004344694 2004-11-29 发明申请 |
| 2006-6-15 |
| 要解决的问题 : 以提供一激光烧蚀装置能够提高该分析的样品的精度，而不管一在所述的表面状态变化的所述样品，和以提供一激光烧蚀的方法，样品分析仪和一个样品分析方法。溶液 : 所述样品分析仪1是配备有一激光烧蚀单元3用于照射该样品2支撑在所述样品室5中的样品架6与一激光束以精细pulverize一个部分的所述样品2，一种元件检测单元4用于检测所述样品中所述组分包含的元件2和一个控制器37。一激光位移计18，用于检测该样品2所述的表面形状是提供上面所述样品室5。该控制器37具有一个用于控制激光控制部分的样品台驱动部7，以所述的匹配该聚焦激光束与所述样品的表面2所述的基础上的所述测量所述激光位移计18的值和一个分析所述元件部分，用于输入所述的检测值检测单元4以执行预定的分析处理。版权 : (C)2006，膜℃。 |
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