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一种显微镜装置

CN201420216081.4 2014-4-30 实用新型

2014-8-27

本实用新型公开一种显微镜装置，其包含：光源、光源切换装置、载物台、显微镜模块，所述光源为一体式环形双光源结构。通过光源切换装置进行单双光源的切换，从而简单进行暗场和明场的切换，调解过程中无需调节载物台的角度，因此有效节省聚焦步骤，提高镜检效率；同时在多器件检验时，可有效降低漏检率。