| 显微镜系统和存储介质 |
| US14180189 2014-2-13 发明申请 |
| 2014-8-21 |
| 一种显微镜系统，包括 : 物镜； 校正球面像差的校正装置； 控制器，其获得所述物镜相对于样本的相对位置和最佳值的多个组合， 其是校正装置在已经校正了根据相对位置引起的球面像差的状态下的设定值，基于通过插值获得的多个组合计算表示相对位置和最优值之间的关系的函数，并且基于从观察目标表面确定的函数和相对位置根据样本的观察目标表面计算最优值； 以及校正装置驱动装置，其根据由控制器计算出的最佳值来驱动校正装置。 |
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