| 透射电子显微镜双倾样品台自动定位晶体取向的方法 |
| CN201410211095.1 2014-5-19 发明申请 |
| 2014-8-20 |
| 本发明提供一种透射电子显微镜双倾样品台自动定位晶体取向的方法,校对双倾样品台;记录一张正带轴的单晶电子衍射花样及其相机常数,记录双倾样品台的五个读数X1、Y1、Z1、A1和B1;利用所述待测样品已知的点阵类型和参数,标定衍射花样;由双倾样品台两个转轴的投影位置求出基准坐标系,求出指定取向需要的双倾台读数X2、Y2、Z2、A2和B2;用户在透射电子显微镜控制面板上输入计算所得的X2、Y2、Z2、A2和B2值,即可实现自动倾转和平移过程。本发明计算过程易于编程实现,对操作者的经验依赖程度降低,大大地提高测试效率,还可避免长时间高能电子束照射造成的样品损伤。 |