| 一种微电极阵列的侧壁绝缘方法 |
| CN201110386810.1 2011-11-28 发明申请 |
| 2012-4-11 |
| 本发明公开一种微细加工技术领域的微电极阵列的侧壁绝缘方法，步骤包括：1)将经过清洗的电极阵列与导电装置分别作为阴极板和阳极板(或阳极板和阴极板)，连接到电泳仪器的负极和正极(或正极和负极)，构成回路；2)将与导电装置连接好的电极阵列放入电泳镀膜溶液中；3)打开电源开始电泳镀膜；4)完成后，关闭电源，将电极阵列取出，并用去离子水超声清洗电极阵列，去除悬浮涂料；5)洗干净的电极阵列，进行烘干处理；6)经烘干的电极阵列中填充石蜡，然后利用机械方法进行磨削，以去掉电极端面的绝缘薄膜。本发明可用于多种形状，高精度的微细电化学加工用的微电极阵列的侧壁绝缘，工艺成本低。 |
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