| 基于可编程照明的干涉显微镜系统 |
| CN201410199476.2 2014-5-12 发明申请 |
| 2014-8-13 |
| 本发明涉及干涉显微镜。基于可编程照明的干涉显微镜系统，包括一照明光源、一照明模块；还包括一数字微镜装置，数字微镜装置包含有数字微镜阵列，每个数字微镜设有n°和-n°两个偏转角状态。光线通过TIR棱镜的折反射以2n°入射角度入射到数字微镜装置，接着控制各微反射镜的“开”或者“关”的状态，使光线得到相应的空间调制，然后从数字微镜装置垂直出射；之后通过分光棱镜的反射使光路进入Mirau干涉物镜，在Mirau干涉物镜中经过分束器形成两束光，这两束光分别照射到参考平面和被测平面后反射回来，并且在分束器形成光学干涉；然后被测物的干涉光场从干涉物镜中返回；之后再次通过分光棱镜，经过筒镜后被探测器接收，得到干涉显微镜的干涉图像。 |
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