| 模块式原子力显微镜 |
| US13759316 2013-2-5 发明申请 |
| 2014-8-7 |
| 一种模块化AFM/SPM，部分通过使用较小的探头提供较快的测量速度，测量力和运动较小，无噪声伪像，而这些器件的老一辈产品已越来越无法提供这些功能。 模块化AFM/SPM包括底盘，仪器模块支撑在底盘上； 视图模块，提供用于观察样品和探针的光学器件； 头部模块，其提供用于所述光杠杆装置以及用于操纵和聚焦所述部件的所述部件； 扫描器模块，其提供XYZ平移台，所述XYZ平移台在所述尺寸和所述接合机构中致动所述样品； 隔离模块，所述隔离模块包围所述机箱并为所述仪器提供声学和/或热隔离；以及电子模块，所述电子模块与所述单独的控制器一起提供用于采集和处理图像以及控制所述仪器的其他功能的电子设备。 所有这些模块及其许多子程序集都是可替换的，并且有可能升级。 这允许在新技术可用时对其进行更新。 |
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