| 微小样品分析仪和方法。 |
| JP2010157423 2010-7-12 发明申请 |
| 2012-2-2 |
| 要解决的问题 : 以提供一个质量分析方法允许高度敏感的分析，SEM中，一个精细的有机异物微米的尺寸是在所述的顺序，所述体可能使一个装置中的一个缺陷和该等。溶液 : 一个SEM室是内部设置有一加热机构，用于加热一细样品和一个质量分析表用于分析气体样品。与此，该质量分析的一种精细的有机可以被执行而不提取所述外来异物体观察在所述SEM从所述SEM的真空室，通过还使用上述EDX，无机\/有机异物可以被识别，和从而具有高吞吐量的该异物可以被分析。版权 : (C)2012，inpit |
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