| 超分辨三维测量显微镜 |
| CN201410198264.2 2014-5-12 发明申请 |
| 2014-8-6 |
| 本发明涉及精密测量技术领域。超分辨三维测量显微镜，包括一干涉显微镜本体，干涉显微镜本体包括一生成准直均匀光线的照明模块，照明模块的出射光朝向一生成不同相位值的正弦结构光的结构光生成器，结构光生成器的出射光朝向一分光棱镜，分光棱镜的反射光朝向一干涉物镜；干涉物镜使由分光棱镜反射的光束在光轴的方向上会聚而照射于被测物，并且使从被测物反射得到的测量光束与从干涉物镜内部得到的参照光束相干涉；被测物的干涉光从干涉物镜中返回后，依次途径分光棱镜、一筒镜、一探测器，干涉光经过筒镜后被探测器接收。本发明通过结构光生成器和软件算法来重建超分辨率的干涉光场图像。 |
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