| 样品分析仪 |
| US11932083 2007-10-31 发明申请 |
| 2008-5-29 |
| 一种样品分析设备，包括 : 照射系统，其将带电粒子照射到具有部分在其表面上的凹部的样品上； 聚光反射镜，其基于所述带电粒子的照射而聚光从所述表面获得的发光； 光检测器，其检测被引导到聚光反射镜的发光； 带电粒子检测器，其检测从所述样品的表面反射的带电粒子作为反射带电粒子； 以及信号处理器，其控制所述照射系统间歇地照射所述带电粒子，所述信号处理器基于从所述带电粒子检测器输出的检测信号获得所述样品的形状，并且基于从所述光检测器输出的检测信号的衰减特性，在从所述照射系统结束所述带电粒子的间歇照射的时间点到所述照射系统开始所述带电粒子的间歇照射的时间点的时间段内识别所述样品的材料。 |
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