| 一种红外散射扫描近场光学显微镜的方法和装置 |
| US13835312 2013-3-15 发明授权 |
| 2014-7-29 |
| 本发明涉及通过红外散射扫描近场光学显微镜(S-SNOM)以亚微米空间分辨率测量材料的光学特性。 具体地说，本发明通过实现高信噪比、高测量速度和高光学振幅和相位精度，提供了与现有技术相比的实质性改进。 此外，它不需要原位参考来计算光学相位的波长相关光谱或吸收光谱。 这些目标是通过改进的非对称干涉法实现的，其中近场散射光与干涉仪中的参考光束干涉。 本发明通过设置比背景散射辐射强得多的参考光束来实现背景抑制的显著改善。 结合频率选择性解调技术，可以高效、准确地区分近场散射光和背景散射光。 这些目标是通过一系列改进实现的，包括大动态范围检测器、仔细控制相对光束强度和高带宽解调技术。 |
微信公众号