| 动态二维光电显微镜 |
| CN201410145044.3 2014-4-8 发明申请 |
| 2014-7-23 |
| 一种动态二维光电显微镜，包括有用于照射被测二维线纹样板的照明光源，用于将被测二维线纹样板实像引入测量系统的光电显微镜物镜，设置在所述光电显微镜物镜的输出光路上，用于将该路光分为用于观察和用于测量的两路光的第一分光平片，设置在第一分光平片所分出的用于观察的光路上的成像CCD相机，所述成像CCD相机接收该路光用于在测量时对被测二维线纹样板进行观察与调整，设置在第一分光平片所分出的用于测量的光路上，并将该路光分成用于获取光电瞄准信号的测量方向为X轴的两路光和测量方向为Y轴的两路光的测量单元。本发明结构简单易于操作，能够实现二维线纹瞄准的测量功能，有较好的测量对象的适应性及测量精度。 |
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