| 原子力显微镜跨尺度高精度进样机构 |
| CN201410135574.X 2014-4-6 发明申请 |
| 2014-7-23 |
| 一种原子力显微镜跨尺度高精度进样机构。针对传统原子力显微镜使用中样品位置固定、显微镜探针扫描成像范围局限于微米级别的限制，本发明提出一种进样机构，使样品能够实现从微米级到毫米级的大范围、高精度移动，从而将原子力显微镜扫描成像范围从微米扩展到毫米。本发明包括由X方向和Y方向的丝杠螺母机构组成的粗略级移动机构，移动范围为毫米级，定位精度达到微米；由X方向和Y方向压电陶瓷组成的精细级移动机构，移动范围为微米级，定位精度达到亚微米；原子力显微镜调平机构，用于调整原子力显微镜与样品间的距离和水平度。本发明实用性强，传统原子力显微镜装在本发明的进样机构上，可以实现从微米级到毫米级的跨尺度大范围扫描成像。 |
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