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所述校正装置，扫描电子显微镜和扫描透射电子显微镜

JP2011273613 2011-12-14 发明授权

2014-7-23

[docdb]修正器(10)设有六个多极元件(1，2，3，4，5，6)设置在光束路径(7)相邻对称对称平面(8)。所有多极元件用于产生四极的领域。一轴向基本路径都有眼点中间图像的存在在前四极场的前四极元件。