| 激光束定位方法的探针原子力显微镜 |
| UAU201400443 2014-1-20 实用新型 |
| 2014-7-10 |
| 一种定位方法的激光束到探针原子力显微镜，包括放置在椭圆镜与三层氧化物涂层在激光束的传播方向而其聚焦探头上。激光辐射产生和引导到椭圆镜，其另外地放置在通过传播激光束到探针。进行初步表面的椭圆镜由光学玻璃多层氧化物的涂层施加，这包括在序列层的二氧化硅SiO2，二氧化钛tioand氧化铝ALO，并由此均匀分布的强度和功率密度的激光散热带，在平面中形成平行于平面该原子力显微镜探针架，具有聚焦在所述探针为均匀强度和功率密度带，与获取保证了聚焦镜元件上，和需要重新调整激光束中每更换探头后被排除在外。 |
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