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超致密纳米腔增强扫描探针显微镜和方法

US14150389 2014-1-8 发明申请

2014-7-10

使用包括具有远端和基极区域的半导体板以及其中的空气槽的器件来测量表面形貌的技术。传感器尖端可以耦合到空气槽下方的板。包括具有由晶格图案中的局部扰动限定的腔区域的晶格图案的光子晶体可以集成到空气槽的上方和下方的半导体板中，从而提供集成到半导体板中的分腔光子晶体谐振器。