| 样品表面分析仪 |
| JP2004362886 2004-12-15 发明授权 |
| 2011-1-5 |
| 要解决的问题 : 解决了低能量的X射线的检测中困难的情况下，真空系统的分析仪和分析室的切断使用隔墙。方法 : 表面分析仪设有分析室，其容纳样品并保持在真空，主光束照射装置，用于照射所述样品与主光束，一种聚光装置，用于会聚从样品的X射线会聚的主光束，一开口位于X射线的会聚点以允许汇聚后的X射线对通光谱和光谱装置衍射/检测X射线通过孔径和保持在真空，使及其构成的真空度在分析中腔室不同的光谱装置由小孔分隔的手持分析室和光谱装置。' 版权 : (C)2006，层叠' |
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