| 用于分析装置和方法膜样品 |
| JP2007241619 2007-9-18 发明申请 |
| 2009-4-9 |
| 要解决的问题 : 所述峰值移，以除去所述的效果引起的膜厚度。溶液 : 该膜样品分析仪包括一个电子束照射部件，用于将一膜样品W与一个电子光束，一个光检测部分，用于发射的频谱衍射光(发光)L从所述膜通过照射样品W与所述电子束以检测所述相同的，一个峰值波长计算部41用于接收所述输出信号从所述光检测部分，以计算一个所述光谱测量的峰值波长是所述峰值波长的所述光(发光)L，一标准数据存储部存储标准数据D1表示该所得到的膜厚度之间的关系由膜厚度和所述标准中已知的标准样品的峰值波长是所述峰值波长在所述膜厚度，一种标准的峰值波长设定部42用于计算该标准峰值波长与相对于该膜的厚度该膜的样品W从所述标准数据和一个分析部43用于分析所述状态的所述使用该测量膜样品W的峰值波长和所述标准峰值波长为参数。版权 : (C)2009，inpit |
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