| 一种三维成像及三维扫描显微镜 |
| CN201420039932.2 2014-1-21 实用新型 |
| 2014-6-25 |
| 本实用新型公开了一种三维成像及三维扫描显微镜，包括投影单元和成像单元，投影单元，包括投影元件和投影臂，成像单元，包括第一成像元件和成像臂，所述的投影单元还包括第二成像元件，第二成像元件分光设在投影臂上；所述的投影臂包括分光设在投影光路上观察被测物三维形貌的第一目镜，所述的成像臂包括分光设在成像光路上观察被测物三维形貌的第二目镜；所述的投影臂还包括投影目镜、第一变倍体和第一辅助物镜，所述的成像臂还包括成像目镜、第二变倍体和第二辅助物镜。本实用新型既能三维成像又能实现三维扫描，具有应用广泛、使用方便、测量精度高的特点。 |
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