| 方法和装置，用于控制一个扫描探针显微镜 |
| WOEP13076461 2013-12-12 发明申请 |
| 2014-6-19 |
| 本发明涉及一种用于控制一个扫描探针显微镜方法具有一个探针(2)具有一尖端(21)用于与一个样品(4)交互，和一个nanoscanner(1)，用于保持所述样品(4)或所述探针(2)，包括监测所述扩展的所述压电元件的所述步骤(1)沿一第一沿方向R其中所述尖端(21)被移向该样品(4)，和调整所述探头(2)沿所述的电平第一方向(R)通过一附加致动器的装置(3)，当所述nanoscanner(1)表现出下面延伸或上方的一个门限值。本发明还涉及一种装置(100)用于控制一个扫描探针显微镜。 |
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