| 原子力显微镜探针装置 |
| CN201410118215.3 2014-3-27 发明申请 |
| 2014-6-18 |
| 本发明公开了一种原子力显微镜探针装置，包括探测针和探针座，其中探测针包括微悬臂以及设于所述微悬臂一端的针尖，所述微悬臂在其与所述针尖相对的表面上形成有台阶孔；探针座包括吸附件和定位件，所述吸附件包括真空吸附槽以及吸附面，所述真空吸附槽用于使所述探测针吸附于所述吸附面；所述定位件从所述吸附面伸出插入所述台阶孔中并旋转以与所述台阶孔的台阶面抵接。本发明的原子力显微镜探针装置能够提高换针效率。 |
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