| 用于显微镜和显微镜与自动聚焦机构的自动聚焦过程 |
| DE102012223128 2012-12-13 发明申请 |
| 2014-6-18 |
| 用于显微镜具有一个物镜自动聚焦过程(4)，其中一个样品位于一个对象水平(2)中示出了; 如何)的一个纵向延伸的晶格间隙(G1)，其晶格中的解理面在于，所述样品上(2)。和所述所述的晶格间隙(G1)被投影的投影作为晶格间隙的画面在一个自动聚焦照相机(16，18); 其中一个摄像机计划具有，一个示出了，从而该晶格解理面或该摄像机计划位于对角一个电平，其是共轭到所述对象级，B)一种晶格间隙的图像强度的分布确定和从该一个默认用于一相对相对从样品(2)和对象导出的电平是，如何c)一个同样地纵向延伸的比较间隙(G1，R2)，其位于平行于所述的晶格间隙(G1)在该晶格解理的平面和沿该纵向延伸的是未结构化，所述样品上(2)，和所述的投影所述比较的间隙(G1是投影，R2)作为比较的间隙画面(30)所示的是在所述的自动聚焦照相机(16，18); 和，d)所述宽度(B1，B2)的所述比较的间隙中的画面(30)横向到纵向延伸的至少两个位置(X1，X2)，其沿该纵向延伸的是beabstandet，一个评估，从这一个宽的过程所述比较的间隙画面(30)一个确定，所述宽度过程的一个确定的一梯度和从其一个方向所述相对的相对一个导出。 |
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