| 所述的光学显微镜 |
| JP2012262719 2012-11-30 发明申请 |
| 2014-6-12 |
| 要解决的问题 : 具有一个自由改变，同时保持所述的光学显微镜观察放大率方便的是，所述投影图案，溶液 : 所述恒定的放大率的光学系统和所述光突出部分110。所述光接收部分120可缩放放大倍数是采用在一个宽范围内。该阶段140，该投影光在所述对象图案，用于接收所述S，分钟。观察该图像的所述观测器的放大(接收放大)在至少1像素图案的宽度在一最小，或优选一种多个像素分辨率的成像元件12a1a一个被包含。所述光突出部分110具有一种微小位移驱动机构117，该图案生成部112是通过一个微小位移驱动机构117移动。选择拉拔 : 图。2 |
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