| [docdb]测量显微镜装置以及采用该图像拍摄方法 |
| JP2012263869 2012-11-30 发明申请 |
| 2014-6-12 |
| 所要解决的问题 : 本发明提供一种能够进行具有三维轮廓信息的测量和光学图像的观察的显微镜中的照明光和测量光之间的干涉的测量显微镜装置，该测量显微镜装置包括 : 高度图像获取装置，用于基于多个条纹图像获取高度图像； 控制测量光投射装置的测量控制部150； 以及主体壳体，其容纳测量光投射装置和图像拾取装置100。 所述测量光投射装置包括 : 测量光源111，其用作测量光的光源； 图案生成部，配置在从测量光源到被检体的测量光的光路上， 产生周期性投影图案， 以及将周期性投影图案投影到物体上， 图案生成部分112能够在测量光投射到物体上的投影状态和测量光不被测量控制部分投射到物体上的非投影状态之间转换。 当通过用观察照明光源320照射物体来拍摄观察图像时，测量控制部分150在测量光源111被点亮的情况下使图案生成部分进入非投影状态。 |
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