| [docdb]光学显微镜 |
| JP2012262718 2012-11-30 发明申请 |
| 2014-6-12 |
| 要解决的问题 : 使图案投影测量，同时保持这种光学显微镜方便的观察放大倍数可以自由改变，和限位的扩大的最小必需显微镜. 溶液 : 第一和第二光投射部(110)各由光学系统，具有一个固定倍率(典型例如，双面远心透镜). 变焦透镜用于在光接收部(120)，使光接收部120可以接收中的光放大率范围广. 成像装置121a)由通过单色成像装置成像为单色CCD(电荷耦合装置). 成像装置121a A具有的分辨率，当接收到投影对象上的图案在阶段140，至少一个，优选多个像素包含在最小的图案宽度在观察图像在时间最小的观察倍率(光接收放大率). 版权 : (C)2014，隆起部. |
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