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具有探测器阵列和分束系统的显微镜仪器

US14234425 2012-7-10 发明申请

2014-6-12

本发明公开了一种显微镜仪器，其具有位于仪器一侧的检测器。显微镜仪器包括分裂系统和设置在仪器一侧的检测器阵列。由两个或多个分开的发射通道组成的波束被分离系统分成沿分开的路径行进的两个或多个波束，使得每个波束到达检测器阵列中的不同检测器。每个光束是不同的发射通道，并且光束基本上平行。