| 原子力显微镜探针装置 |
| CN201410118223.8 2014-3-27 发明申请 |
| 2014-6-11 |
| 本发明公开了一种原子力显微镜探针装置，包括探测针和探针座。所述探测针包括微悬臂以及设于所述微悬臂一端的针尖，所述悬臂远离所述针尖的另一端的侧表面形成有狭槽。探针座包括吸附件和定位件。所述吸附件具有吸附面，该吸附面上开设有与抽真空部件连通的导气槽，用于使所述探测针吸附于所述吸附面。所述定位件包括本体以及设于所述本体下端的狭槽贴片，所述狭槽贴片与所述狭槽的形状相配合；所述本体滑设于所述吸附件的两侧且于第一位置和第二位置之间移动以使所述狭槽贴片嵌入所述狭槽或从所述狭槽中分离。本发明的原子力显微镜探针装置能够避免换针过程中探针错位，跌落或位置不正等问题。 |
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