| 样品分析仪 |
| JP2004083292 2004-3-22 发明申请 |
| 2005-10-6 |
| 要解决的问题 : 以降低样品分析仪,以方便输送和所述装置的运动,并以提高调整效率的一种束线。溶液 : 该样品分析仪具有结构具有一离子束发生器用于产生和发射所述离子束; 和一真空容器内部保持一种分析样品。在所述的装置,所述离子束发生器是设置在所述真空容器,和一个偏转装置,用于偏转所述离子束在所述水平方向在所述发射轴线的所述垂直向下发射的离子束从所述离子束发生器被设置,和所述真空容器具有一个所述真空容器的离子束入射孔指向以该顺序中的水平方向,以允许所述离子束在所述水平方向偏转由所述偏转装置以进入该分析样品被设置,和所述离子束发生器,所述偏转装置和所述真空容器被组装在一个共同的底座。版权 : (C)2006,膜℃。 |