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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

倾斜成像扫描电子显微镜

US13846548 2013-3-18 发明申请

2014-6-5

一个实施例涉及倾斜成像扫描电子显微镜设备。该装置包括电子枪、第一和第二偏转器、物镜和二次电子检测器。第一偏转器使电子束偏转离开光轴，第二偏转器使电子束偏转回到光轴。物镜将电子束聚焦到目标衬底表面上的斑点上，其中电子束以倾斜角落在表面上。另一个实施例涉及使用具有相对于衬底表面倾斜的轨迹的电子束对目标衬底的表面成像的方法。还公开了其它实施例和特征。