| 自动聚焦控制装置、半导体检测装置和显微镜 |
| US14086341 2013-11-21 发明申请 |
| 2014-6-5 |
| 本发明提供一种自动聚焦控制装置，用于在不受表面上的图案影响的情况下使用像散执行自动聚焦调节。 一种光接收光学系统，包括将来自物体的反射光分成第一反射光和第二反射光的非偏振光分束器420、布置在第一反射光的光路上的第一象散产生装置430、布置在第二反射光的光路上的第二象散产生装置450、接收通过第一象散产生装置的光的第一光检测器440和接收通过第二象散产生装置的光的第二光检测器460。 光源光学系统310被布置成使得聚焦误差检测光的图像形成点从观察平面散焦预定距离。 |
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