| 倾斜-成像扫描电子显微镜 |
| WOUS13071914 2013-11-26 发明申请 |
| 2014-6-5 |
| 一个实施例涉及一倾斜的成像扫描电子显微镜装置。该装置包括一个电子枪，第一和第二偏转器，一个物镜电子透镜，和一个二次电子探测器。第一所述电子束偏转器偏转离开所述光学轴，和第二所述电子束偏转器偏转后向所述光学轴线。所述物镜聚焦在所述电子束到一个表面上的点的一目标基板，其中所述电子束所述表面上的焊点在一倾斜角度。另一实施例涉及一种使用一目标基板的成像表面的方法的一个电子束与一轨迹的倾斜相对到一个衬底表面。本发明还公开了其它实施例和特征。 |
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