| 自动聚焦控制装置，半导体检测装置和显微镜 |
| KR1020130142392 2013-11-21 发明申请 |
| 2014-5-29 |
| 一反方向使用的散光其影响所述图案不聚焦控制机，其是可能的用于自动聚焦装置的目的 : 是提供以。对象到被分类和反射的光从该SIL(w)号1号2和用于该半反射在反射偏振光束分束器(420)和一，数1号1一被反射的光准直透镜的固化产生装置(430)和，数2号2一被反射的光固化准直透镜生成装置(450)和，数1准直透镜生成装置(430)，其通过通过所述的一种数量1光电检测器(440)和一，数2准直透镜生成装置(450)，其通通过该一号2光电检测器(460)具有一。光光源光学系统(310)所述，聚焦误差和使发射和接收的测试光一个预定的观察侧的聚焦位置被赋予分钟和散焦的距离设置，以作为到被上。光接收光学系统(400)所述，光被反射的光的光电探测器[…]所述沉积所述数量1(440)和数量2光电检测器(460)一种光接收平面上的光图案的物体适合于以偏置透镜(410)具有。 |
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