要解决的问题 : 提供一种用于电子聚焦方法显微镜和电子显微镜能很好的进行聚焦方法 : 该方法包括 : 计算,在物镜的状态电流值设定为X0+ΔX,图像移动量D1在由前至后电子束倾斜,通过聚焦部件13; 接下来,计算,在物镜的状态电流值设定为X0,图像移动量D2在由前至后的电子束倾斜,通过聚焦部件13; 其次,计算,在物镜的状态电流值设定为X0-ΔX,图像移动量D3在由前至后的电子束倾斜,通过聚焦部件13。此外,该方法还包括计算用于使物镜电流值在聚焦物镜的基于状态的在计算出的图像的移动量d1D3,通过聚焦部件13。版权 : (C)2012,隆起部
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