| 用于电子显微镜和光纤双激光束系统 |
| US13677854 2012-11-15 发明申请 |
| 2014-5-15 |
| 本发明公开了一种电子显微镜和光纤系统，用于使用具有不同特性的两束分开的激光束对多种材料进行处理和成像。 第一激光束用于工件的大体积材料去除和深沟槽蚀刻。 第二激光束用于更精细的精密加工，例如工件的微加工、小光斑加工或产生小的热影响区。 第一激光束和第二激光束可以来自相同的激光源或者来自不同的激光源。 具有一个激光源具有使系统更便宜和能够产生分开的外部和内部站的附加优点，使得从第一激光束移除块体材料产生的碎屑将不会干扰粒子束室中的真空或部件。 |
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