| 扫描电子显微镜电子束检测及精细图形检测方法 |
| US14028917 2013-9-17 发明申请 |
| 2014-5-15 |
| 提供了用于检测SEM的电子束和用于检测精细图案的方法。 可以在检测样本上形成在第一方向上具有长度的线图案。 可以获得在检测样品的相同曝光工艺下形成的标准化模型的功率谱密度(PSD)曲线。 可以通过SEM获得检测样本的每个线图案的边缘轮廓，并且可以以采样频率进行采样，以获得在垂直于第一方向的第二方向上的边缘轮廓上的采样点处的变化范围。 根据所述变化范围可获得检测样品的PSD曲线，并可与标准化模型的PSD曲线进行比较，以确定SEM的电子束在第二方向上是否具有高质量。 |
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