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选择性主动阻尼原子力显微镜系统

US13675251 2012-11-13 发明申请

2014-5-15

一种原子力显微镜(AFM)系统包括附接到探针尖端的悬臂。该系统控制悬臂的高度以将探针尖端压靠在样品上，然后将探针尖端与样品分离，以在探针尖端与表面分离之后检测悬臂的扰动，并接合悬臂的主动阻尼以抑制扰动。