| 用于分析样品的方法和样品分析器 |
| JP2004111274 2004-4-5 发明授权 |
| 2009-3-18 |
| 所要解决的问题是： 为了正确地获得构成样品内侧的部分的电子状态， 以及通过直接比较从荧光X射线获得的两个X射线吸收光谱和从用X射线照射的样品发射的光电子/螺旋推运电子，能够分别分析样品的内侧面和极表面侧面。 在XAFS分析装置的电子产生谱检测部中，从从试样发射的光电子和螺旋推运电子得到一个X射线谱。 在荧光X射线产率光谱检测部中，从从试样射出的荧光X射线得到另一X射线光谱。 两个光谱由数字转换部分27，28转换成数值。 在处理部29中，使基于光电子和螺旋推运电子的数值与基于荧光X射线的另一数值对应， 然后从基于荧光X射线的数值中减去基于光电子和螺旋电子的数值， 由此，仅求出相对于试样S的内侧的吸收系数，然后，求出表示照射X射线的吸收系数和波长值的X射线吸收光谱。 版权 : (C)2006，JPO&NCIPI |
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