| 光学显微镜和显微方法 |
| WOEP13003338 2013-11-6 发明申请 |
| 2014-5-15 |
| 本发明涉及一种光学显微镜具有 : 一样品,其中所述待检查的样品中平面可以被位于; 一光源到项目所述的照明光,光学成像装置,以引导所述的照明光为该样品平面,一第一与其中一个所述的照明光的光束扫描装置和所述样品可移动的相对以一个另一个以产生一个照明所述的照明光相对于所述样品的扫描运动,一个检测器装置以拾取来自所述样品的样品的光,和所述样品的电子装置,用于产生一图像在所述的基础该样品通过所述检测器的光拾取装置用于各种样本区域。所述的光学显微镜是其特征是 : 第二中的扫描装置是具有其它是可能的,以调整该样品区域,其可以成像到一个特定检测器元件,以产生一检测一接收区域的扫描运动的一个所述样品中检测器元件的平面相对于所述样品,并被进一步,其特征在于,所述电子装置是配备到控制第一和第二扫描设备的每个其它的从属地,在这种方式,其一个瞬时所述检测扫描运动是相反的方向以所述的照明扫描的瞬时方向运动。本发明还涉及一对应的显微术方法。 |