| 样品分析方法和样品分析仪 |
| JP2007211354 2007-8-14 发明申请 |
| 2009-3-5 |
| 要解决的问题 : 以提供一样品分析方法，其使所述的适当的分析样品通过分析所述的基础上的所述样品的特征X-射线强度测量值，直到产生的损伤和\/或污染是，及一个样品分析仪。溶液 : 该样品8是与电子束照射9和所述的特征X射线强度10从所述样品产生的8对应的所述与所述电子束照射9是测量在一个时间共享与所述的逝去时间的方式来分析该样品8。在这种分析的样品，所述所述特征的X-射线强度初始值测量在所述启动时间测量的是与所述值相比(时间经过所述特征的X-射线强度测量值)在每个测量定时在一稍后时间和，当所述时间经过依次测量的值对应于所经过的时间被移位从一个容许值范围内设定一预定的比率放大的宽度与相对于该初始值，测量被停止和所述样品是所述的基础上分析该初始值和各时间的经过的值在所述容许值范围。版权 : (C)2009，inpit |
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