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超分辨近场光学显微镜中的扫描镜

US12739266 2008-2-18 发明授权

2014-5-13

提供了一种具有超分辨率的扫描光学测量设备。所述扫描光学测量装置包括 : 光源；第一透镜，其聚焦从所述光源照射的光；第一销孔，设置在所述第一透镜的旁边；第二透镜，所述第二透镜使穿过所述第一销孔的光发散；扫描单元，扫描通过所述第二透镜的光；第一分束器，设置在所述第二透镜与所述扫描单元之间；物镜，其将通过所述扫描单元的光聚焦在所述对象上；幻灯片，放置主题的幻灯片；光学探头，其反射从光源照射后穿过被摄体的光；第二分束器，设置在所述扫描单元和所述物镜之间；第一光学检测器，其检测在从所述对象和所述光学探针反射之后穿过所述第一分束器的光；第二针孔，设置在所述第一分束器与所述第一光检测器之间；以及第二光学检测器，其检测在被对象和光学探针反射之后通过第二分束器的光。